发布时间: 2025-11-10
在中国举办的 SEMiBAY 2025 芯片展会上,多家公司展示了该国日益增强的半导体制造能力,其中包括与华为关联设备制造商 SiCarrier 相关的子公司。除了 SiCarrier 以外,还有另一家引起关注的公司——AMIES Technology(以下简称 AMIES),这是中国新兴的光刻装备厂商。根据 South China Morning Post 的报道,AMIES 展出了被视为中国推动减少对荷兰巨头 ASML 依赖的一系列设备。
据中国 “STAR Market Daily” 报道,AMIES 是中国国家主导的光刻机制造商 Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) 的衍生公司。SMEE 主要专注于开发前端核心设备,而 AMIES 则意在加速其设备的商业化进程。据 STCN 报道,SMEE 自主研发的 “600 系列”光刻系统已经进入规模生产阶段(90 纳米节点),目前正在向 28 纳米浸没式(immersion)模型发展。
South China Morning Post 报道指出,AMIES 在该展会上展示了一系列产品组合,包括:化合物半导体光刻机、激光退火系统、先进检测工具,以及用于封装与晶圆键合的方案。
AMIES 在光刻与封装设备上的进展据 STAR Market Daily 报道,AMIES 的先进封装光刻机主要面向高端芯片封装应用(包括人工智能与先进智能终端),具备高分辨率、超大曝光场、支持高度弯曲基板等能力,能够满足晶圆级与面板级先进封装(如 Flip Chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D 集成)需求。公司宣称其产品已在业内获得广泛认可。South China Morning Post 指出,AMIES 表示其先进封装光刻机在全球拥有约 35 %的市场份额,在中国国内则约占 90%。2025 年 8 月,据 ITHome 报道,AMIES 宣布其已出货第 500 台步进式光刻机。
中国光刻技术推进中的其他关键玩家作为中国推动芯片自给自足战略的一部分,多家公司正在争相开发国内 DUV(深紫外)和 EUV(极紫外)光刻系统。South China Morning Post 报道,Zetop Technologies(部分由 SiCarrier 持股、以及被美国制裁的中国科学院 Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics 出资)拥有数位领先的 EUV 光学研究人员作为股东。此外,报道还提及位于上海的 Yuliangsheng(SiCarrier 亦持有其股份)曾向中国最大的晶圆代工厂 SMIC 提供一台 28 纳米 DUV 光刻系统,用于 7 纳米生产测试。
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